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248cc永利集团备用网址: 发布日期:2020-09-17 作者: 点击:

低/高真空系统的获得


低真空的获得  


获得低真空常采用机械泵,机械泵是运用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀,从而获得真空的装置。真空系统


它可以直接在大气压下开始工作,极限真空度一般为1.33-1.33x10-2pa, 抽气速率与转速及空腔体积V的大小有关,一般在每秒几升到每秒几十升之间。

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高真空的获得 


目前,广泛使用的获得高真空的泵就是扩散泵。扩散泵是利用气体扩散现象来抽气的,它不能直接在大气压下工作,而需要一定的预备真空度(1.33-0.133Pa)。真空系统


油扩散泵的极限真空度主要取决于油蒸汽压和气体分子的反扩散,一般能达到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽气速率与结构相关,每秒几升--几百升不等。

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