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248cc永利集团备用网址: 发布日期:2020-10-07 作者: 点击:

真空系统:低/高真空的获得


低真空的获得  


获得低真空常采用机械泵,机械泵是运用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀,从而获得真空的装置。


它可以直接在大气压下开始工作,极限真空度一般为1.33-1.33x10-2pa, 抽气速率与转速及空腔体积V的大小有关,一般在每秒几升到每秒几十升之间。


高真空的获得 

真空系统

目前,广泛使用的获得高真空的泵就是扩散泵。扩散泵是利用气体扩散现象来抽气的,它不能直接在大气压下工作,而需要一定的预备真空度(1.33-0.133Pa)。


油扩散泵的极限真空度主要取决于油蒸汽压和气体分子的反扩散,一般能达到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽气速率与结构相关,每秒几升--几百升不等。真空系统


溅射镀膜


溅射靶材具有高纯度、高密度、多组元、晶粒均匀等特点,一般由靶坯和背板组成。


靶坯属于溅射靶材的核心部分,是高速离子束流轰击的目标材料。


靶坯被离子撞击后,其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜。


由于高纯度金属强度较低,因此溅射靶材需要在高电压、高真空的机台环境内完成溅射过程。


超高纯金属的溅射靶坯需要与背板通过不同的焊接工艺进行接合,背板起到主要起到固定溅射靶材的作用,且需要具备良好的导电、导热性能。


以上就是真空系统厂家整理的相关资料,希望对大家有所帮助。

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